超高分辨率场发射扫描电子显微镜PCB抄板及芯片解密解析

该系列产品是深圳世纪芯 PCB抄板 研发中心反向研发而成，它配... [详细]

超高分辨率场发射扫描电子

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　　该系列产品是深圳世纪芯PCB抄板研发中心反向研发而成，它配备有经过改进的第三代GEMINI镜筒、概念新颖的样品台、智能化硬件控制板和新型高效率的透镜内二次电子探测器。
　　该系列场发射扫描电子显微镜是卡尔蔡司半导体事业部的纳米技术系统部向市场推出的功能最多的场发射扫描电子显微镜。具有当前最先进的仪器所具有的所有特征：如在图像质量一流时的超高分辨率、工作电压切换方便、出色的束流稳定性、全分析型样品室、通过基于Windows? XP的SmartSEM?控制软件实现简便的操作等显着特点。在研究和发展的应用中、失效分析和质量保证等方面，SUPRA?系列场发射扫描电子显微镜可提供迅速的、重复性好的、高可靠性的结果。

　　该系列的多种仪器提供了全面的成像解决方案，可满足半导体、材料分析、药品制造和生命科学等领域中苛刻的应用要求。对于不导电样品，采用专利可变压力（VP）技术的增强型可变压力二次电子探测器（VPSE）可以得到一流的图像和分析结果。GEMINI?镜筒具有无与伦比的成像能力，尤其是在工作电压低于1kV时成像能力尤为出色，这就使得SUPRA?成为适合所有纳米科学应用的成像工具。
　　技术参数
　　分辨率
　　SUPRA? 40/40VP
　　1.3 nm @ 15 kV
　　2.1 nm @ 1 kV
　　5.0 nm @ 0.1 kV
　　2.0 nm @ 30 kV（VP模式）
　　分辨率
　　SUPRA? 55/55 VP 及 60/60 VP
　　1.0 nm @ 15 kV
　　1.7 nm @ 1 kV
　　4.0 nm @ 0.1 kV
　　2.0 nm @ 30 kV（VP模式）
　　加速电压
　　0.1 - 30 kV
　　束流
　　4 pA - 10 nA（可选配20 nA）
　　放大倍数
　　12 - 900,000x
　　电子枪
　　热场发射型
　　VP真空度
　　2 - 133 Pa
　　标准探测器
　　In-lens二次电子探测器与样品室内ET探测器
　　VP型号采用VPSE探测器
　　图象处理
　　7种积分和平均模式
　　系统控制
　　基于Windows?XP的SmartSEM?
　　主要特点
　　在整个电压范围内的超高分辨率，
　　电压范围最低至0.1 kV，所需调整极少,
　　高束流，高稳定性，
　　高效In-lens二次电子检测器，可实现高分辨率的表面成像，
　　增强型VPSE探测器，可实现不导电试样的成像
　　基于Windows XP的SmartSEM?控制软件，操作简便
　　深圳市世纪芯集成电路有限公司长期提供PCB抄板、IC芯片解密、电路板抄板、样机制作、电子设备仿制等服务，欢迎有意者来电咨询及洽谈业务！